1、激光器:采用进口激光器;2、激光波长:1564 nm;3、激光模式:基模;4、激光输出最大功率:25 W;5、最小聚焦光斑直径:20 um;6、激光调制方式:声光调制;7、激光重复频率:20KHz~100KHz;8、最大划片速度:198 mm/s;9、最大划片厚度:4.2 mm;10、工作台幅面:350×350 mm负压吸附 强力除尘;11、划片精度:±6μm;12、单机使用电源: 220V/50Hz/1.5kVA。